• 王陽元院士

    研究方向:
    王陽元,男亚博电子游戏官网,1935年生?,F任北京大學教授、博士生導師、中國科學院院士亚博电子游戏官网,北京大學微電子學研究院首席科學家,中國電子學會副理事長,《半導體學報》和《電子學報》(英文版)副主編,《微電子學科學叢書》主編。信息產業部科技委委員(電子),美國IEEE Fellow和英國IEE Fellow 和中國CIE Fellow等。

    主持研究成功我國第一塊3種類型1024位MOS動態隨機存儲器,是我國硅柵N溝道MOS技術開拓者之一。提出了多晶硅薄膜"應力增強"氧化模型、工程應用方程和摻雜濃度與遷移率的關系,"對實踐有重要的指導意義"亚博电子游戏官网。研究了多種硅化物薄膜及亞微米和深亞微米CMOS電路的硅化物/多晶硅復合柵結構;發現磷摻雜對固相外延速率增強效應以及CoSi2柵對器件抗輻照特性的改進作用亚博电子游戏官网;提出了SOI器件浮體效應模型和通過改變器件參量抑制浮體效應的工藝設計技術;領導研制成功了我國第一個大型集成化的ICCAD系統亚博电子游戏官网;90年代后期開始研究微機電系統(MEMS)亚博电子游戏官网;近期又致力于研究亞納米集成電路新器件結構、新工藝及其集成技術亚博电子游戏官网。創建了中芯國際集成電路制造有限公司,領導建設成功了我國第一條大型12英寸納米級集成電路生產線亚博电子游戏官网。

    近20多年來共培養了和正在培養近百名碩士亚博电子游戏官网、博士研究生和博士后研究人員。發表科研論文230多篇,出版著作7部,現有20項重大科技成果亚博电子游戏官网。獲全國科學大會獎、國家發明二亚博电子游戏官网、三等獎、國家教委科技進步一等獎、光華科技基金一等獎等共19項國家級和部委級獎勵。

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