• 全自動磁控濺射鍍膜機(MSP3200)

    2017-05-04 15:09:35

    儀器型號: MSP3200

    生產商:北京金盛微納

    應用范圍:

        本設備為雙腔室濺射臺,進樣室可進行輝光預清洗亚博电子游戏官网,反應室設置有4個靶位,靶材尺寸為直徑80mm*60mm厚的圓靶材,樣品尺寸≦5inch,樣品托盤可旋轉,鍍膜均勻亚博电子游戏官网,雙腔之間用機械手進行傳遞,通過電腦界面自動控制,操作簡便。電源配有DC/RF/脈沖等三種??捎糜跒R射各種單層或者多層的金屬及氧化物膜以及共濺射鍍膜。(備注:本實驗室配有數十種金屬及氧化物靶材供選擇)。

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