• 磁控濺射臺(JS4S-80D)

    2017-05-04 15:10:33

    儀器型號:JS4S-80D

    生產商:北京金盛微納

    應用范圍:

        本設備僅有一個腔室,腔內配有4個靶位,采用DC/RF兩種電源,靶材尺寸為直徑80mm*6mm的圓靶材,樣品尺寸直徑小于4inch亚博电子游戏官网,樣品臺可連續公轉。主要用于濺射各種金屬及氧化物膜層。(備注:本實驗室有各種金屬及氧化物靶材供選擇濺射)

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