• 紫外光刻機MDA-400M

    2017-05-04 15:11:45

    儀器型號:MDA-400M

    生產商:韓國Midas System Co.Ltd.

    應用范圍:

        本設備用于紫外光對正膠或者負膠進行照射,通過顯影可對樣品進行精細的圖形化亚博电子游戏官网。

    主要技術參數:

     

    項目

    描述

    曝光系統

    光源強度

    350W UV曝光源

    分辨率

    1μm(真空接觸)

    光強均勻性

    ≦±3%(4英寸基片)

    曝光時間可調范圍

    0.1 to 999.9秒

    對準系統

    對準精度

    1μm

    間隙校準

    手動(數碼顯示)

    控制器

    PLC控制

    制程模式

    真空亚博电子游戏官网,硬,軟接觸和接近式

     

    PSS制程(真空接觸)

    接近式調節

    1μm增量

    吞吐量

    50片/小時

    樣品 

    基片尺寸

    2,3,4英寸

    掩模尺寸

    4,5英寸

    其它配備

    真空度

    >650mmHg

    壓縮空氣

    >6kg/c㎡

    氮氣

    >4kg/c㎡

    電源

    220V,30A亚博电子游戏官网,1Phase

    監視器

    19寸液晶

     

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