• 紫外光刻機URE-2000A

    2017-05-04 15:16:48

    儀器型號:URE-2000A

    生產商:中科院光電所

    應用范圍:
        本設備采用CCD圖像底面對準技術亚博电子游戏官网亚博电子游戏官网,單曝光頭正面曝光實現雙面對準的總體設計技術。采用新穎的高精度亚博电子游戏官网、多自由度掩膜一樣片精密對準工件臺結構設計,掩膜一樣片對準過程直觀亚博电子游戏官网,套刻對準速度快、精度高。掩膜板與樣片的放置采用推拉式基準平板亚博电子游戏官网、真空吸附式亚博电子游戏官网,操作方便。該設備可應用于紫外光對正膠或者負膠進行照射亚博电子游戏官网,通過顯影可對樣品進行精細的圖形化亚博电子游戏官网。
    主要技術指標:
    曝光面積:150mm×150mm
    分辨力:1μm(膠厚1.5 μm的正膠)
    對準精度:±3μm(雙面)
    最大膠厚:500μm(SU8膠)
    掩模尺寸:3inch、4 inch
    樣片尺寸:直徑小于等于4inch
    照明均勻性:±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm)
    汞燈功率:1000W(直流)
    掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°

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