• 我院周航老師課題組在微電子器件頂級會議IEDM上發表研究成果

    2019-12-19 14:44:15

        近日亚博电子游戏官网,我院周航老師課題組在美國舊金山舉行的第65屆電氣電子工程師學會(IEEE)電子器件大會(International Electron Devices Meeting, IEDM 2019)上發表了題為“Flexible, active-matrix flat-panel image sensor for low dose X-ray detection enabled by integration of perovskite photodiode and oxide thin film transistor”的研究成果亚博电子游戏官网。該工作在我院周航副教授、張盛東教授以及中山大學劉川教授的共同指導下完成。周航副教授和劉川教授為該論文共同通訊作者,我院為第一完成單位亚博电子游戏官网,課題組鄒濤隅實驗員為第一作者,論文合作作者還包括陳昌東(中大博士生)亚博电子游戏官网、向犇(我院碩士生)和王婭(我院博士生)。該工作得到了深圳市薄膜晶體管與先進顯示重點實驗室、國家重點研發計劃、廣東省自然科學基金和深圳市科技創新委員會的項目支持。
        X-ray平板圖像傳感器在醫學和工業檢查中具有廣泛的應用。通常,圖像傳感器像素集成了非晶硅薄膜晶體管(TFT)和非晶硅光電二極管(PD)。由于非晶硅具有遷移率低和缺陷態濃度高等不足,業界一直致力于開發新型的高幀率、低劑量亚博电子游戏官网亚博电子游戏官网、低成本X射線圖像傳感器亚博电子游戏官网。周航副教授團隊利用了IGZO TFT較低的關態電流和鈣鈦礦二極管較高的光電響應的特性,成功將IGZO TFT和鈣TFT陣列與鈣鈦礦光電探測器集成,實現對X-Ray的間接探測及成像應用亚博电子游戏官网,并展示了基于柔性基底的集成器件。由于鈣鈦礦二極管較低的暗電流(~30 nA cm-2)亚博电子游戏官网,在間接探測模式下,集成探測器可以實現較低劑量的X-Ray探測(2mGy/s)亚博电子游戏官网亚博电子游戏官网。鈣鈦礦二極管的X-Ray間接探測的靈敏度達到了3×103 μC mGy-1 cm-3亚博电子游戏官网。論文還闡述了IGZO TFT和鈣鈦礦集成器件在柵控和光控兩種工作狀態下的工作機理亚博电子游戏官网。該研究結果為開發新型低劑量柔性X-Ray圖像傳感器提供了新的技術路徑。
        IEDM是微電子器件領域的頂級會議,至今已具有六十多年歷史的,被外媒譽為“微電子器件領域的奧林匹克盛會”,在國際半導體技術領域享有很高的學術地位和廣泛的影響力亚博电子游戏官网。該會議是國內外著名高校、研發機構,以及英特爾、Samsung亚博电子游戏官网、IBM、臺積電等國際知名企業報告半導體和電子器件最新研究成果的重要平臺之一亚博电子游戏官网。


    . IGZO TFT/鈣鈦礦二極管陣列(左上)亚博电子游戏官网,IGZO TFT/鈣鈦礦二極管成像像素結構(右上),
    集成器件在不同可見光光強下的轉移特性曲線(左下)以及光纖光斑的成像效果(右下)。

    (供稿:周航老師課題組)

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